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电子工业洁净室FFU结构简介

      

一、FFU的外观
  目前,全世界所有厂家生产的FFU,从外观上可这样划分:
  1、从形状上分两种,一种是长方体(如图1所示),一种上部为坡形(如图2所示)。图2所示的FFU的上部做成坡形,起到了一种导流的作用,有利于气流的流动和均匀分布。图1所示的FFU则一般依靠另外的途径来均衡气流(后面详细阐述)。
  2、从结构上分两种,一种为整体(如图3所示),一种为分体(如图4所示)。
   分体形状的FFU有如下优势:
    ① 使过滤器的更换变得方
    ② 减小了安装过程中的劳动强度。
   整体形状的FFU有如下优势:
    ① 增加了FFU的密封性,有效防止了泄漏。
    ② 有利于降低噪音
    ③ 有利于减小振动
二、FFU的组成部件
  目前,各种FFU最多由以下几部分组成(按从上到下、从内到外的顺序),视不同厂家组成部分可能有所减少(如图5所示)。
   1、预过滤器     6、气流均衡装置
   2、外壳体      7、过滤器
   3、风管连接部件   8、金属防护网
   4、电机       9、刀缘
   5、叶轮       10、控制元件
下面,我们对各个部件进行分析介绍:
一、预过滤器
  一般为可清洗聚胺脂泡沫,主要防止因施工、检修或其它意外情况产生杂物而可能造成的对过滤器的伤害。
二、外壳体
 组成材料大致有铝板、铝合金、硬塑、不锈钢等几种,不同厂家和不同的使用环境有不同的选择,厚度大约为1.2~2.0,视厚度情况有些可以载人。
三、风管连接部件
  在洁净级别较低(≤1000级联邦标准209E)的场合,此时吊顶上部没有静压箱,带有风管连接部件的FFU使得风管和FFU的连接十分方便。
四、电机
  目前,交流电机和直流电机在FFU中都有使用,直流电机的体积大,造价高,控制容易实现,能耗较高。交流电机的体积小,造价低,控制需要相应的技术,能耗较低。现在FFU所使用的电机的寿命大约为4~10万小时不等。一些优秀的电机会有相应的技术,如无油润滑,密封轴承,带过热保护,换向器寿命得到显著提高等。
五、叶轮
  叶轮有两种形式,前倾和后倾,前倾有利于增加气流组织的矢向流动,增强去除尘埃的能力。后倾有利于降低能耗,减小噪音。
六、气流均衡装置
  随着FFU的不断普及,绝大部分厂家都开始装配气流均衡装置,用来调整FFU的出口气流,从而改善洁净室的气流分布。目前,这种均衡装置大约分为三种:一种为孔板(如图6所示),主要通过板上的孔的疏密分布来调节FFU的出口气流。一种为格栅(如图7所示),主要通过格栅的疏密来调节FFU的出口气流。另外一种为动力曲线(如图8所示),主要通过曲线的形状来诱导气流的流动,同时也通过曲线上的孔的疏密分布来调节气流。
七、过滤器
  FFU所使用的过滤器和洁净厂房所用的其它过滤器一样,这里不再赘述。
八、金属防护网
 金属防护网主要起到对过滤器的保护作用,大部分都防静电。
九、刀缘
  当FFU使用在一些特别的场合时,带刀缘的FFU可使用液槽密封,从而能满足高密封性的要求。
十、控制单元
  FFU的控制可大致分为多档开关、连续调节、计算机控制等几种,同时实现的功能有单台控 制、分区控制、报警、运行状态显示等。

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