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洁净室方案(FFU在洁净室的应用)

      
 洁净室方案(FFU在洁净室的应用)
洁净室的定义:将一定空间范围内的空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。

  由以上之定义,我们可知构成洁净室须俱备以下各项因素:

  1 .能除去空气中飘游之微尘粒子。
  2 .能防止微尘粒子之产生。
  3 .温度和湿度之控制。
  4 .压力之调节。
  5 .有害气体之排除。
  6 .结构物与隔间之气密性。
  7 .静电之防制。
  8 .电磁干扰之预防。
  9 .安全因素之考虑。
  10.节能之考量。

 

洁净室净化系统

         Fan Tower+panel filter            AHU+Filterbox                Fan filterUnit      

   洁净室净化系统有上图中的三个大的部分组成:Fan Tower+panelfilter 、AHU+Filter box 、Fan filterUnit 。

                                               

                                   地板/墙板                                                                                FFU

 

                

                                             龙骨

 

集中式洁净室

 

 中央式无尘室系统压力(单位Pa)分布模拟结果

 

 

FFU系统

 

洁净室内空气压力大于回风静压室,排除静压室对洁净室污染的可能性

 

FFU在使用寿命及维护上已经实践证明无可担心。当前其改进主要是:
(1)取均流及减少噪音的措施,噪音可在50db以内;

(2)动机采用DC/EC(电子整流电机),以耗较原交流电机节约近50%,因为小风机所用小容量(功率<1P)的交流电机,一般皆为电容分相式或隐极式,其效率仅40%左右,而DC/EC电机的效率可达75%80%;在调速控制上可每台单独的以过滤器降压进行控制以节约能
耗,但目前投资回收期尚长而未广泛采用,一般常用分组群控或全部群控。
(3)但FFU出口静压不能过大,一般采用出口风速0.38m/s,此时其静压一般在250Pa以内


 
FFU回风系统与其他方式相比的优点


 

优点:
(1)
灵活性大,便于改造;                                                       (2)占用建筑物空间较少;
(3)洁净净室内空气压力大于回风静压室,排除静压室对洁净室污染的可能性。

缺点:
(1)要求回风道全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在初阻力时),总共应控制在165Pa左右,以满足运行时蕞大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传热面积要较大,回风道尺寸亦要较大,多孔地板及格栅等的阻力要小,一般作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回风道阻力在15Pa以内,否则就需要再增设加压风机系统,这就是降低了FFU系统的综合优点。
 (2)采用DC/EC电机后,单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为低,但已有研究指出,比采用改进后的大型轴流风机的回风系统的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素。
 (3)一般FFU系统由于单位风量的能耗较大,因此洁净室的冷负荷亦相应增加。

 

具体情况下的评价

 (1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。
 (2)洁净度要求严的洁净室,末级过滤器满布率100%时,对大的系统采用FFU
,当前还是不经济的;对小系统有意义作具体比较。
 (3)对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言,FFU系统的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,采用FFU
系统已经普遍。

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